半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/03 12:22:47
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半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业
半导体行业使用的气体具体用途是什么
比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.
先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业就可以,比如说哪些用在太阳能板,哪些用在LED或者电子元器件,
半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业
做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到.
硅烷和笑气,长氧化硅时候用.
HCL:清洗wafer的时候用.
CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用.
SF6:蚀刻Si的时候用.
其他还有BCl3,Cl2,Ar差不多都是蚀刻的使用.
半导体制程,分为好多步骤,详细的每个步骤分别用哪些气体,由于涉及机密,我不便透露。
只能告诉你,硅烷、氨气、CF4用在PECVD
HCL,SF6用在干蚀刻
半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业
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