磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?不锈钢靶,钛靶,氩气,氮气分别能镀是什么颜色?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/01 07:43:14
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磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?不锈钢靶,钛靶,氩气,氮气分别能镀是什么颜色?
磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?
不锈钢靶,钛靶,氩气,氮气分别能镀是什么颜色?
磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?不锈钢靶,钛靶,氩气,氮气分别能镀是什么颜色?
磁控溅射?它的靶材不该是个厚片(5~6mm)吗?圆柱形?
如果就是一般用的磁控溅射靶材,应该是没有影响,只要保证在溅射过程中不露底就成.当然什么时候露底取决于你的溅射速率.
不锈钢靶没用过.
钛靶+(Ar+N2)--->TiN(金黄色),辉光颜色略微偏红
壁厚,磁场稍弱放电电压要高些,但是几个毫米的差别不大。
氩气是工作气体不参与反应,镀出来是金属本色,就是银色。加氮气镀出来是仿金色。
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